IC6 薄膜沉積控制器——不變的是超卓的表現(xiàn)

功能豐富的 IC6 提供上佳測(cè)量精度

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多獨(dú)特的功能，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過程的有利價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無法比擬的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程超卓的可重復(fù)性。

功能

• INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得極高、極穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
• Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
• 支持不少六個(gè)來源同時(shí)共鍍膜
• 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r
• 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
• USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
• 強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語句）
• 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
• 可容納不少 50 個(gè)過程，每個(gè)過程 200 層，這些過程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
• 多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
• 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
• 可選以太網(wǎng)通信
• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

• 優(yōu)異光學(xué)鍍膜