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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
PEV-1壓電閥是為了適用于要求精準控制氣體流量的場合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括：磁控濺射，光學鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。它和MAXTEK的MV-112同是孿生兄弟。
詳情介紹：
PEV-1壓電閥主要技術(shù)特點：
- 控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制。
- 易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀。
- 響應(yīng)時間快
- 性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長。
- 無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點
技術(shù)參數(shù)：
- 流量0-500Sccm
- 響應(yīng)時間2毫秒
- 集成漏率5×10-8sml／sec
- 驅(qū)動電壓0-100VCD／0-24VDC
- 電路連接標準BNC接頭（Q9）
- 溫度范圍100C至600C
- 極大入口壓強50PSI
