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- 超典型應用－針對薄膜沉積設(shè)備而特別設(shè)計的抽氣系統(tǒng)
- 是目前性能極優(yōu)，造型超緊湊的機型
- 超新型的一體式抽氣理念，旨在實現(xiàn)極大生產(chǎn)量和極短停機時間
系統(tǒng)界面
- 一體化 的機型包括了渦輪分子泵，驅(qū)動配置，供電電源配置，氣體保護配置機通信配置
- 通用的電子接口，便于用戶使用控制軟件
- 模擬I/O信號，標配為RS232或RS485接口
- 可選配Varian 通用總線控制接口
應用知識
- 在特定的應用領(lǐng)域，通用產(chǎn)品無法統(tǒng)統(tǒng)滿足性能要求
- TV－2KG是應廣大用戶的真實需求而開發(fā)，可實現(xiàn)用戶滿意度
- 配備獨特，為工業(yè)鍍膜行業(yè)量身定做
- 滿足工業(yè)生產(chǎn)的工藝要求，得到工業(yè)界的認同
供貨鏈及物流
- 通過有效的組織和計劃，保證了在超合適的時間和地點提供配件，減少用戶在當?shù)氐膸齑?/span>
- 供貨鏈上各種相關(guān)產(chǎn)品能高效周轉(zhuǎn)，用戶只備少量庫存亦可應付自如
- Varian的客戶服務組織采用先進的SAP系統(tǒng)，在全球共同運作
- 具備自診斷功能
- 實時監(jiān)測分子泵的各項參數(shù)，包括振動圖譜
- 借助簡單的數(shù)據(jù)連接，Varian的服務組織可以為您提供實時服務
- 主動的維護計劃使分子泵的使用壽命及無故障運行時間大大延長
完善的支持
- 設(shè)有專門的服務電話，為您提供實時全程服務
- 各地的Varian代表使用您熟悉的語言與您溝通，為您提供技術(shù)/應用/訂貨/工程等方面的支持
- 提供極廣泛的服務計劃，即使苛刻的需求您也可以得到專門周到的服務
鍍膜領(lǐng)域的應用包括
- 建筑玻璃鍍膜，汽車玻璃鍍膜，太陽能玻璃鍍膜
- 平板顯示屏鍍膜
- 光學及電磁數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)品的鍍膜，如讀寫探頭
- 用于增強耐磨性能的表面處理
- 用于眼科透鏡的光學鍍膜及用于光學數(shù)據(jù)傳輸上的慮光鏡鍍膜
- 制備功能性薄膜及裝飾型鍍膜，包括金屬化膜層
- 可應用于食品工業(yè)，包裝業(yè)及電子產(chǎn)品行業(yè)的卷繞鍍膜
- 可應用于氣載叫道的PVD及其它等離子體工藝設(shè)備
可靠的設(shè)計
TV－2KG身為分子泵的一員，但性能更勝過普通分子泵，它是專為等離子體工藝領(lǐng)域設(shè)計開發(fā)的抽氣系統(tǒng)。事實上，TV－2KG的各抽氣級甚至整個泵的結(jié)構(gòu)，都是以能在較高氬氣負載和溫度條件下保持上佳抽氣性能為目標來優(yōu)化設(shè)計的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性，泵內(nèi)還集成了放氣和抽氣閥門，其軸承具有免維護特性，這些優(yōu)點無疑使TV－2KG成為應用在鍍膜行業(yè)的非常好的分子泵。
獨特的拖動級設(shè)計
TV－2KG雖然外形緊湊，但其拖動級的獨特設(shè)計確保了在高原強下對氬氣抽氣使仍保持大抽氣量。拖動級由一體化的兩層盤片組成，這樣的設(shè)計大大提高了散熱效率 ，因而極大程度地降低了泵高速運轉(zhuǎn)時的內(nèi)部溫度。
TV－2KG將充氣及放氣閥集成于泵內(nèi)，為世界首例。充氣保護及放氣過程的控制都由內(nèi)部電路驅(qū)動完成，不再需要任何部件置于泵體外部。分子泵在這樣周到的保護下，不易受到外部沖擊和污染的損傷，因而極大限度地延長了使用壽命。
TV－2KG系統(tǒng)配置了Varian獨有地軸承和無油潤滑系統(tǒng)，可免維護長期運轉(zhuǎn)。另外，它可任意位置安裝，而絲毫不會降低其性能和壽命。
TV－2KG配備了特別的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠?qū)崟r監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，確保了材料負荷及軸承負荷在安 全范圍內(nèi)工作。
TV－2KG所有的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內(nèi)，具有防水特性，符合IP54規(guī)范。借助微處理器的強大功能，TV－2KG的控制接口能與外部控制系統(tǒng)方便地連接，并通過一臺筆記本電腦和Navigator軟件輕松實現(xiàn)各種控制。
分子泵選型指南
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分子泵
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產(chǎn)品型號
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V70
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V70D
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V70LP
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V301
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V551
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V701
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V1001
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V2000HT
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V6000
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轉(zhuǎn)速 rpm
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75000
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75000
|
75000
|
56000
|
42000
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42000
|
38000
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33000
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14000
|
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進氣口法蘭 DN
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40/63
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40/63
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40/63
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100/160
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100/160
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200
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160/200/250
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250
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500
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出氣口法蘭DN
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16
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16
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16
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16
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25
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25
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40
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40
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100
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抽速 N 2 L/s
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46/68
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40/60
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46/68
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250/280
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350/550
|
690
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790/950/1050
|
1950
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6000
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壓縮比 N2
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5×107
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5×107
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5×108
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7×108
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＞1×109
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1×109
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1×109
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＞1×109
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＞1×1010
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極限壓強 mbar
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1×10-9
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＜1×10-9
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＜2×10-10
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＜5×10-10
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＜1×10-10
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＜1×10-10
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＜1×10-10
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1×10-10
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＜1×10-10
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啟動時間 min
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＜ 1
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＜ 1
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＜ 1
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2.5
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＜ 5
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＜ 5
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＜ 4
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10
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30
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